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一、从使用过的含氧化钌的催化剂中回收钌的方法
一种从使用过的含钌催化剂中回收钌的方法，所述催化剂含有负载于微溶于无机酸的载体材料上的作为氧化钌的钌，该方法包括下列步骤：
a)将含氧化钌的催化剂在氢气流中处理，其中存在于载体上的氧化钌被还原为金属钌；
"b)将来自步骤a）的含有负载于载体材料上的金属钌的经还原的催化剂在含氧气的气体存在下用盐酸处理，其中存在于载体上的金属钌以氯化钌
溶解，并且以氯化钌水溶液获得；"
c)合适的话，将来自步骤b）的氯化钌溶液进一步后处理。 -
二、为什么是钌前体？
金属钌薄膜——由挥发性前体通过蒸发制成——在应用于几纳米或更小的线径时显示出优异的材料特性。
使用钌的优点包括：
抗热和电退化 - 提高晶体管的寿命
高熔点 - 允许高温应用
创造无障碍互连的潜力——允许更小的设备架构并减少工艺步骤的数量
低电阻率——以更快的开关时间促进更高性能的芯片
半导体行业可用的钌前体
您可以从8种可通过原子层沉积或化学气相沉积应用的钌化合物中选择作为新的互连材料。此外，我们的钌前驱体可用于硬掩模。 -
三、钌的用处各种各样，自然做为有色金属之一，它都是工业级不可缺少的化学元素之一，钌是一种硬而脆呈浅灰的鞭毛抗原有色金属原素，是铂族金属材料里的一员。因此钌是工业级的珍贵化学元素，都是不可缺少的化学元素之一。
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